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利潔凈低硫低氯丁腈手套在半導體生產中的應用

發布日期:2025-03-30 13:50瀏覽次數:

利潔凈低硫低氯丁腈手套在半導體生產中的應用主要基于其

超低硫氯含量、高潔凈度、防靜電及化學兼容性,能夠滿足半導體制造對金屬污染、微??刂萍肮に嚟h境的嚴苛要求。以下是具體應用場景和優勢:

1. 核心優勢:低硫低氯的雙重潔凈保障

硫污染控制:硫元素可能與半導體中的金屬層(如鋁、銅互連)反應生成硫化物,導致電路短路或腐蝕。低硫設計可避免硫擴散污染。

 氯污染控制:氯元素在高溫或潮濕環境下可能引發電化學腐蝕,尤其對氧化層(如SiO?)或敏感元件(如MOSFET)造成損害。低氯配方減少此類風險。

 無鹵素殘留:符合半導體行業對鹵素(Cl、Br等)的限制要求(如IEC 61249-2-21),避免對精密器件的化學侵蝕。

2. 高潔凈度適配超凈環境

微粒與離子控制:通過無硅油、無脫模劑工藝,手套表面微粒(≥0.5μm)≤1000個/副,離子殘留(Na?、K?、Cl?等)≤100ppb,滿足ISO Class 1~3(百級至十級)無塵室標準。

 低析出物:高溫制程(如擴散、氧化)中不釋放硫/氯化合物,防止晶圓表面污染或器件性能退化。


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